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氦質譜測漏儀半導體用配管配件測漏
伯東公司客戶某專門生產半導體配管配件工程公司, 定制高端不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應用於半導體廠務端, 用於輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現場量測管路, 然後對不同口徑的管路進行焊接, 因半導體行業的苛刻使用要求, 產品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s, 因此需要進行洩漏檢測, 已驗收管件是否達標. 客戶對測漏效率要求較高, 需要在生產線使用且方便移動操作, 經過伯東推薦最終選擇移動型氦質譜測漏儀 ASM 390 和 ASM 392!

半導體用真空配管測漏方法: 需要對焊接的配管進行測漏, 配管組裝完成後, 對整個管線也要進行測漏. 採用真空模式測漏, 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要測漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 測漏儀會出現聲光報警同時在螢幕上顯示當前漏率值.

測漏配置: 1. 氦質譜測漏儀 ASM 390 1台 2. 客制轉接頭和配套密封件一套 3. 噴槍和配套氦氣瓶一套
將製作好的各種管件加工焊接, 然後管路連接至氦氣測漏儀 ASM 390 進行測漏
經過實際測試, 無論管徑是 6’, 8’ or 10’, 長度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內達到客戶測漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精准, 大大提升了工作效率
測試各個管路時, 可依照客戶需求將資料記錄儲存 (並可儲存至電腦內)
到現場配管, 所有管件組裝後, 長度達好幾十米, 對比之前的測漏時間, 工程花費時間可能趨近於一天, 但選用伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與測漏時間上, 幾乎縮短了一倍時間！
因管路銜接長, Pfeiffer ASM 390 針對此點多了一項功能 大漏模式: 定性洩漏檢測從100 mbar 到20 mbar 開始（進入測試模式之前）此一區間即可進行測漏, 快速縮短測漏時間

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家測漏儀的技術優勢, 伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜測漏儀, 從可擕式測漏儀到工作臺式測漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜測漏儀替代傳統泡沫測漏和壓差測漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜測漏儀滿足單機測漏, 也可集成在測漏系統或 PLC. 推薦氦質譜測漏儀應用 >>

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