殘餘氣體分析儀 PrismaPro
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殘餘氣體分析儀 PrismaPro

殘餘氣體分析儀 PrismaPro
伯東公司德國普發 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 ( 四級杆質譜儀 ) 集高靈敏度, 高穩定性和智慧操作於一體, 配置新一代的操作軟體 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘餘氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 特性
模組化設計保證最佳相容性, JSON 程式設計介面和多種介面易於系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計,方便測量壓力

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 規格

型號

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器 / 法拉第 C-SEM / Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極杆直徑/長度

6 / 125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

重量

2.5 kg

3.2 kg

               

* 開放式離子源,
* 2  停留時間 4秒
*  與C-SEM相比,具有較高的靈敏度

Pfeiffer殘餘氣體分析儀應用: 四極質譜儀 QMG 非常適合於檢漏, 殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝

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上海伯東: 葉女士                                  臺灣伯東: 王女士
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