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殘餘氣體分析儀 Hicube RGA
伯東公司銷售維修德國 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA. 四極杆質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的完美搭配, 質量數範圍 1-300, 高解析度和靈敏度. 適用於殘餘氣體分析, 過程監測, 洩漏檢測.
殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 優勢
殘餘氣體分析和氦氣洩漏檢測模式
可用于從大氣壓至高真空環境
高解析度和靈敏度
通過真空壓力監測保護燈絲
進氣系統帶集成式切斷閥
Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 技術規格
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渦輪分子泵組 |
HiCube™ Eco |
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功耗 |
170W |
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電壓（範圍） |
110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
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氮氣抽速 |
67 l/s |
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前級泵在 50 Hz 時的泵送速度 |
1 m3/h |
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極限真空 |
<1X10-7 hPa |
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真空計 |
PKR 361 |
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測量範圍 |
1X10-9 至 1X103 hPa |
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閥門 |
EVN 116 |
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氣體流量 |
可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
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進氣口 |
DN 16 ISO-KF |
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PrismaPro |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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質量數 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極杆直徑／長度 |
6 /125 mm |
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最小檢測極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小檢測極限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對臨近質量數的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時間 |
1 ms – 16 s/amu |
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峰比值可重複性 |
± 0.5 % |
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介面 |
乙太網 |
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電源電壓 |
100–240 V AC，50/60 Hz |
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HiCube™ RGA重量 |
25.5 - 26.2 kg |
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殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 典型應用
殘餘氣體分析: 對真空系統中殘餘氣體的分析, 可以獲知在達到所需的最終壓力或調節要求時, 殘餘物質的組成. 由此可以得出各種有關系統表面性質, 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結論. 這將為您提供有關真空室或真空元件狀態的重要資訊.
洩漏檢測: 伯東公司 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣洩漏檢測模式, 可以通過軟體控制啟動. 此功能可以方便您發現真空系統中的任何洩漏.
過程監控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的測量範圍內隨時間觀察任意數量的選定品質強度, 並可對選定的各品質分配警報迴圈閾值. 如果它們高於或低於所需極限, 則可以通過數位輸出將信號提供給更高級別的控制系統. 因此殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供即時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空系統中的壓力適應相應過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對洩漏設定點進行快速開/關控制.
品質保證和過程優化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監測真空鍍膜過程相關氣體成分等能力, 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和品質保證中的重要工具. 即使測量正在執行, 所有測量值也會得到存儲, 並且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執行測量, 也可以匯出測量結果以進行進一步分析.
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