KRI 離子源

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用於離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 伯東公司是美國考夫曼離子源大中華地區總代理.
KRI 考夫曼離子源
            霍爾離子源                               射頻離子源                        考夫曼離子源                                   自動控制器  

Dr. Harold R. Kaufman 生平介紹

KRI, Kaufman & Robinson, Inc 公司的創辦人
Dr. Harold R. Kaufman 2016 年入選美國太空總署 Grenn 研究中心名人堂

KRI 考夫曼離子源簡介

KRI 考夫曼離子源簡介之high ion bean current及high anode voltage, 加上有效面積廣大, EH1010F , EH1020F…係列, 在於鍍膜之前處理( ISSP)及助鍍(IABD)更有助於提高成膜之沉澱速率, 附著度, 可靠度, 增加折射率, 穿透率...KRI 考夫曼離子源整體設計有著低耗材成本, 安裝簡易, 維護簡單, 無論是在量產單位或是研發單位更是備受肯定及廣泛使用.

KRI 射頻離子源 RFICP 系列

射頻離子源, 提供高能量, 低濃度的離子束, 單次工藝時間更長, 適合多層膜的製備和離子濺鍍鍍膜

型號

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

離子束流

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

柵極直徑

4 cm Φ

10 cm Φ

14 cm Φ

20 cm Φ

30 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

射頻離子源 RFICP 40

KRI 射頻離子源 RFICP 40, 尺寸小, 低成本高效離子源. 適用于集成在小型的真空腔體內

考夫曼離子源在半導體材料中的預清洗及刻蝕應用

SiO2 在刻蝕前需要將其表面的有機物, 顆粒, 金屬雜質, 自然氧化層等去除, 且不破壞晶體的表面特性

e-Mission Filament

KRI Ion Source e-Mission Filament

Model

HFx

SHC 1000

DSHC 1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

e-Mission Hollow Cathodes

Model

HFx

SHC 1000

DSHC 1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

eH 400

KRI Ion Source eH 400

Model

eH 400, eH 400 LEHO

Cathode / Neutralizer

Yes

Anode module

Yes

Process gases

Inert, reactive, organic

Power controller

eH Plasma Power Pack

eH 1020 F

KRI Ion Source eH 1020 F

Model

eH 1000 L, eH 1000, eH 1010, eH 1020, eH 1000 x O2, eH 1000 LEHO

Cathode / Neutralizer

Yes

Anode module

Yes

Process gases

Inert, reactive, organic

Power controller

eH Plasma Power Pack

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E-mail contact

+886-2-8772-8910