Electron Source

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用於離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 伯東公司是美國考夫曼離子源大中華地區總代理.
KRI 考夫曼離子源
            霍爾離子源                               射頻離子源                        考夫曼離子源                                   自動控制器  

e-Mission Filament

KRI Ion Source e-Mission Filament

Model

HFx

SHC 1000

DSHC 1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

e-Mission Hollow Cathodes

Model

HFx

SHC 1000

DSHC 1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

1