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模組化測漏儀應用於電子元器件測漏系統

伯東公司某生產氦氣測漏系統公司, 其研發的小型氦測漏系統內部集成伯東 Pfeiffer 測漏模組 ASI 35 用於電子元器件測漏. 真空模式下, 漏率 5x10-7 mbar l/s.

電子元器件測漏系統功能
定制腔體內放入經過壓氦的電子元器件, 真空模式下, 測試元件的整體漏率值.

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