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氦質譜測漏儀電磁閥測漏
伯東公司某客戶是日本半導體設備廠精密零件供應商, 生產的鐳射焊接電磁閥用於半導體設備上, 由於半導體工業上用的氣體如矽烷 SiH4, 氨氣 NH3 等等都是有毒或有腐蝕性的氣體, 所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求電磁閥成品最終漏率低於 5-10 mbar l / s, 經過伯東推薦採用氦質譜測漏儀 ASM 340 完成電磁閥閥芯的洩漏檢測.

電磁閥閥芯需要測漏
客戶生產的電磁閥閥芯, 經過鐳射焊接後, 懷疑焊縫存在微小的洩漏, 單個閥芯最終漏率需要低於 5-10 mbar l / s.

電磁閥閥芯測漏方法
來料先用放大鏡目視檢測, 閥芯鐳射焊接完成後再目視檢測, 最後用氦質譜測漏儀測漏, 漏率值以測漏儀檢測的資料作為標準.
一共有5個型號, 月產量 2000-3000 個.

電磁閥閥芯測漏操作說明
1. 先將閥接入工裝, 形成一個密閉的腔體. 再將測漏儀連接到工裝上.
2. 啟動氦質譜測漏儀, 真空模式下,設置漏率值 5-10 mbar l / s, 測漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體, 同時顯示一個漏率值.
3. 在電磁閥鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察測漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對象品質不合格. 如果漏率值能達到要求, 該被檢物件合格, 測漏檢測完成.

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家測漏儀的技術優勢, 伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜測漏儀, 從可擕式測漏儀到工作臺式測漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜測漏儀替代傳統泡沫測漏和壓差測漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜測漏儀滿足單機測漏, 也可集成在測漏系統或 PLC. 推薦氦質譜測漏儀應用 >>

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