分流式分子泵應用於氦質譜檢漏儀
分流式分子泵應用於氦質檢漏儀
渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快, 有機蒸汽污染少和極限真空高等特點. 因此在氦質譜檢漏儀中採用分子泵作為高真空系統, 即使檢漏儀不用液氮冷阱, 質譜室也不致嚴重沾汙, 並能保持較低的本底或雜聲. 這有利於氦質譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高, 並且延長離子源的使用壽命. 台灣伯東代理德國 Pfeiffer 分流式分子泵 SplitFlow 獨立機械和真空結構設計, 廣泛應用於國內, 國際知名氦質譜檢漏儀廠商。
分流式分子泵客戶案例: 某國內知名檢漏儀生產商, 選用台灣伯東德國 Pfeiffer SplitFlow 80 分子泵集成於氦質譜檢漏儀中.
Pfeiffer 分流式渦輪分子泵 SplitFlow 優點
緊湊設計, 占地空間小
對所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮比
集成分子泵控制器
防護類型 IP 54 適合於工業用途
准 S2 和 UL/CSA 認證
運行資料監控保證分子泵運行安全性
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