Polycold 快速循環水汽深冷泵的原理及架構概念
Polycold 快速循環水汽深冷泵的原理及架構概念
Polycold 快速循環水汽深冷泵(Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納（Meissner）吸收原理。使水汽分子在低溫盤管（Cryocoil）的超低溫表面上凝結，從而達到捕集水汽的目的。
A 冷凍機
B 冷媒傳送管
C 冷凍連接頭
D 真空腔壁
E 冷凍界面
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A 冷凍機
B 冷媒傳送管
C 真空控制閥
D 冷凍盤
E 真空幫浦
| A. 冷媒流回口#1 B. 冷媒流出口#1 C.溫度線集中孔 D. 各段溫度顯示及切換 E. 系統控制模組可幫助顯示檢修相關問題 F. 除霜/待機/冷凍切換功能開關及顯示 G. 手冊置放處 H. 規格牌 I.遙控連接口，可進行遙控控制 J.主電源開關，當切換到OFF(O)位置時，主電源切斷 K.冷媒及真空Pump連接口 L.冷卻水進、出連接口 M. 壓縮機高低壓力開關表 N.冷媒流回口#2(第二組) O.冷媒流出口#2(第二組) P. 除霜/待機/冷凍切換功能開關及顯示(第二組) Q. Low voltage box 低電壓箱 R. High voltage box 高電壓箱 |
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