inTEST 熱流儀搭配壓力機進行壓力感測器 MENS 溫度測試
inTEST 熱流儀搭配壓力機進行壓力感測器 MENS 溫度測試
壓力感測器 MENS 是由微加工技術製備, 特徵結構在微米尺度 1um~0.1mm 範圍 ，集成有微感測器, 微致動器, 微電子信號處理與控制電路等部件的微型系統. 80%以上的 MENS 採用矽微工藝進行製作, 並且需要在特定壓力之下快速進行不同溫度點的性能測試. 伯東公司美國 inTEST 熱流儀搭配壓力機作為一種常用溫度測試手段, 廣泛應用於 MENS 性能測試.
壓力感測器 MENS 高低溫測試方法：
1. 將器件放在壓力機裡面
2. 啟動 inTEST ATS-545 高低溫衝擊機加熱至需要測試的溫度點
3. 調節壓力機, 設定壓力值
4. 使用儀器測試微電感器件在該溫度下的參數
5. 調節需要溫度點, 重複 2, 3, 4這三個操作, 記錄資料
inTEST ATS-545 熱流儀技術參數
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溫度範圍 °C：-75 至 + 225(50 HZ) 輸出氣流量：4 至 18 scfm |
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與傳統高低溫實驗箱, 溫濕度測試箱對比, inTEST ThermoStream 熱流儀主要優勢：
1. 變溫速率更快
2. 溫控精度：±1℃
3. 即時監測待測元件真實溫度, 可隨時調整衝擊氣流溫度
4. 針對 PCB 電路板上眾多元器件中的某一單個 IC (模組), 可單獨進行高低溫衝擊, 而不影響周邊其它器件
5. 對測試機平臺 load board上的 IC 進行溫度迴圈 / 衝擊; 傳統高低溫箱無法針對此類測試.
6. 對整塊積體電路板提供精確且快速的環境溫度.
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