渦輪分子泵應用於掃描電鏡 SEM
渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
伯東公司德國 Pfeiffer HiPace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在掃描電子顯微鏡 SEM 設備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實現成像. 空氣的存在會使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利於保持樣品室的清潔度; 電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時需要在真空環境下, 平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空室.
HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和高端質譜行業量身定做的產品, 分子泵低振動和低磁場設計, 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設備裡.
Pfeiffer HiPace Plus 渦輪分子泵目前在售型號 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,以 Hipace 300 舉例,主要技術參數如下:
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型號 |
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允許環境磁場 |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
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最大允许磁場 |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
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噪音 |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
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安装方式 |
任意位置安装 |
垂直,法兰向上 |
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進氣口 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
DN 100 ISO-F |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
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極限真空度 |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
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Ar 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
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H2 抽速 |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
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He 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
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N2 抽速 |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
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Ar 壓縮比 |
> 1X1011 |
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H2 壓縮比 |
9X105 |
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He 壓縮比 |
> 1X108 |
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N2 壓縮比 |
> 1X1011 |
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分子泵全速時 Ar 氣體流量 |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
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分子泵全速時 He 氣體流量 |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
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分子泵全速時 H2 氣體流量 |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
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分子泵全速時 N2 氣體流量 |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
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Ar 前级真空 |
25 hPa |
25 hPa |
25 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
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H2 前级真空 |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
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He 前级真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
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N2 前级真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
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Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵執行時間可以達到 100,000 小時! Pfeiffer分子泵提供複合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和幹泵共同使用. 更多分子泵典型應用 >>
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