Atonarp 質譜分析儀
伯東公司代理日本 Atonarp 高科技分子傳感和數位診斷測試設備. Atonarp 通過結合先進的電子和數字處理演算法, 開創了化學成分分析領域的先河. 使高效, 經濟, 即時的獲取分子資訊成為現實! Atonarp 提供適用於半導體過程監控的 Aston™, 以及用於製藥業的 LyoSentinel™ / AMS 1000 和新平臺技術 ATON-360 ( 無需使用化學試劑即可提供實驗室品質的結果. 實現即時, 非侵入數位分子診斷測試.). Atonarp 是製藥, 半導體製造, 工業過程控制以及生命科學領域的分子診斷數字轉換的先驅.
Aston™ 質譜分析儀為 Sub-fab 提供安全, 可持續性發展的監測控制方案
Aston™ 質譜分析儀提供穩健, 量化和即時的計量. 原位量化計量在關鍵靈敏度 / 速度指標上比其他殘留氣體分析儀優於 10 倍至 100 倍, 並具有強大的等離子電離解決方案, 使它們能夠處理苛刻的工藝氣體和副產品. 為半導體 Sub-fab 提供安全, 可持續性和節約解決方案.
Aston™ 質譜分析儀應用於沉積和刻蝕 3D NAND 記憶體
3D NAND 工藝通過堆疊存儲單元, 提供更高的比特密度, 伯東日本 Atonarp Aston™ 質譜分析儀適用于先進半導體工藝（如沉積和蝕刻）所需的定量氣體分析. 沉積應用中: 即時過程氣體監控，以驅動自動化工具調整以實現程序控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程; 蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔.
Aston™ 質譜分析儀應用於半導體蝕刻工藝
Aston™ 質譜分析儀無等離子體設計, 可以實現快速, 化學特定的原位定量氣體分析, 與光學發射光譜 OES 對比, Aston™ 質譜儀 的 OA% 靈敏度顯示為 <0.25%, 適用於半導體工藝中蝕刻計量控制, ALD, 3D-NAND 和新興的堆疊式 DRAM.
Aston™ LyoSentinel 使用微型質譜優化凍乾工藝
伯東公司日本 Atonarp Aston™ LyoSentinel 分子傳感質譜儀雙採樣路徑, 滿足冷凍乾燥過程監控, 工具鑒定 (真空完整性), 故障檢測控制的應用.
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