新品訊息
先進半導體應用的原位工藝控制
伯東公司日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超緊湊型質譜儀, 適用于先進半導體工藝(如沉積和蝕刻)所需的定量氣體分析.
In-situ Process Control for Advanced Semiconductor Applications
ASTON Impact and ASTON Plasma are ultra-compact mass spectrometers for quantitative gas analysis required in advanced semiconductor processes, such as deposition and etch.
Aston™ 質譜儀解決了關鍵的原位計量問題
• 最大化輸送量: 端點檢測而不是基於時間的流程
• 最大化產量: 以十億分之一的靈敏度測量沉積和蝕刻工藝期間的工藝氣體 / 副產物
The ASTON Platform solves key in-situ metrology issues
• Maximize throughput: endpoint detection instead of time-based processes
• Maximize yield: measure process gases/by-products during deposition and etch steps at parts per billion sensitivity
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Aston™ 質譜儀先進工藝的優勢
ppb 級靈敏度的高速採樣 High-speed sampling with ppb sensitivity
非常適合高縱橫比的 3D 結構 Highly suitable for high aspect ratio 3D structures
耐腐蝕性氣體, 堅固緊湊 Resistant to corrosive gases, Rugged and compact
易於集成到工具平臺中 Easy to integrate into tool platforms
沉積應用中: 即時過程氣體監控, 以驅動自動化工具調整以實現程序控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程
Deposition: Real-time process gas monitoring to drive automated tool adjustments for in-process control, End-point detection between deposition steps, Enables stoichiometric engineering of layers
蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔
Etch: Process gas and by-products measured in ppb, Enables endpointed chamber cleans
伯東公司 Atonarp Aston™ 技術參數
類型 |
Impact-300 |
Impact-300DP |
Plasma-200 |
Plasma-200DP |
Plasma-300 |
Plasma-300DP |
型號 |
AST3007 |
AST3006 |
AST3005 |
AST3004 |
AST3003 |
AST3002 |
質量分離 |
四級杆 |
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真空系統 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
檢測器 |
FC /SEM |
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質量範圍 |
2-285 |
2-220 |
2-285 |
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解析度 |
0.8±0.2 |
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檢測限 |
0.1 PPM |
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工作溫度 |
15-35“℃ |
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功率 |
350 W |
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重量 |
15 kg |
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尺寸 |
299 x 218 x 331 LxWxH(mm) |
400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
Aston™ 質譜儀半導體製造應用
先進的工藝 |
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沉積 |
通過使用伯東 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™ 可以提高半導體製造工藝的產量, 輸送量和效率, 此款質譜儀可以在新工藝腔室的組裝過程中進行安裝, 也可將其加裝到已運行的現有腔室, 可在短時間內實現晶圓更高產量!
若您需要進一步的瞭解 Atonarp Aston™ 在線質譜儀詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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