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薄膜製備工藝在超大型積體電路技術中有著非常廣泛的應用, 按照其成膜方法可分為兩大類：物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積（CVD）. 等離子增強型化學氣相澱積（PECVD）是化學氣相澱積的一種, 其澱積溫度低是它最突出的優點.
PECVD: ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離, 在局部形成等離子體, 而等離子體化學活性很強, 很容易發生反應, 在基片上沉積出所期望的薄膜. 為了使化學反應能在較低的溫度下進行, 利用了等離子體的活性來促進反應, 因而這種 CVD 稱為等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD).
PECVD 測漏原因:
PECVD 工作環境需要兩個必要條件: 低溫和真空, 由於 PECVD 結構複雜, 組成部分較多, 各元件通過各種法蘭介面連接, 當長時間運行時可能造成介面或管路鬆動, 設備漏氣, 導致真空度抽不下來, 影響沉積薄膜的品質, 這時就需要通過測漏來排查漏點. 常規的測漏如塗肥皂水等方法, 耗時耗力且精度低, 容易受操作人員幹擾, 所以利用氦質譜測漏儀的排查方法越來越廣泛使用.
伯東代理德國 Pfeiffer 多功能多用途氦質譜測漏儀 ASM 340 成功應用於 PECVD 設備測漏.
伯東 PECVD 設備測漏儀客戶案例一: 中科院某研究所, 通過採購伯東德國 Pfeiffer 機械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 聯用獲得穩定的高真空並追加採購測漏儀, 滿足日常測漏需要.
PECVD 測漏方法: 採用測漏儀的真空法進行測漏, 對懷疑有漏的地方噴氦氣, 如果測漏儀報警, 則表明此處有漏! 伯東客戶中科院某研究所目前現有多台舊款 Adixen ASM 142 測漏儀, 因為設備增加, 在經過工程師推薦後採購測漏儀 ASM 340.
伯東 PECVD 設備測漏儀客戶案例二: 某電子材料有限公司生產太陽能矽片, 高效 N型太陽能電池等, 生產設備採用荷蘭TEMPRESS PECVD, 依照工藝要求, 在1分鐘的測試時間內, 壓力變化不能超過 4mtorr, 否則就要測漏. 氦質譜測漏儀主要用來定位漏點, 針對進出氣管道, 焊接處, 法蘭都位置進行測漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.
* 鑒於資訊保密, 更詳細的 PECVD 測漏方法, 歡迎撥打客服熱線：021-5046-3511
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氦質譜測漏儀 ASM 340 優點
1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質譜測漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率：
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏律
4. 移動式操作面板（有線, 無線）
5. 集成 SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標準漏孔等
8. 檢測時間短
伯東 Pfeiffer Vacuum 德國普發真空產品授權代理商, 銷售維修普發 Pfeiffer 真空產品已餘20年. 可協助客戶選型並提供完善的售後維修服務. 擁有100% 原裝進口維修設備和備品配件, 提供快速維修服務.
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