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美國進口HVA 88200系列矩形真空閘板閥
伯東企業(上海)有限公司乃美國HVA 在中國的總代理, 全權負責其在中國市場的銷售和服務.
HVA 88200系列矩形真空閘板閥特點:
ü 在閥開的狀態, 密封圈完全隱藏, 可以避免粉塵顆粒污染
ü 在閥閉的狀態, 有擋板可以防止物質進入閥內部, 防止污染, 保護閥正常使用.
ü 可現場維護, VAT閥要求替換整個閥, HVA可留在系統上,維護時只取內部零件,密封圈容易清潔或替換, 可明顯節省時間和維護成本.
ü 閥體積小, 振動低.
ü 硬質不銹鋼驅動主軸, 使用壽命長.
ü 閥門板上沒有滾輪和導軌.
ü 閥體不是鑄鋁, 而是在鋁塊上機械切割出來的, 以減少鑄鋁中常見的氣泡和金屬放氣現象.
HVA 88200系列矩形真空閘板閥應用領域:
• AKT 離子系統
• Emcore/Veeco,Cree,PECVD系統
• 大學和研究所
• 薄膜沉積系統
• 濺鍍或蒸發式沉積系統
• 開口寬度從150mm到2000mm 全包括
HVA 88200系列矩形真空閘板閥與VAT(02/03系列)技術規格比較表:
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HVA (88200系列) |
VAT (02/03系列) |
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材料 |
閥體和閥門 |
606I-T6 鋁 |
EN AW-6082(3.2315) 鋁 |
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密封波紋管 |
AM-350 |
AISI 633 (AM 350) |
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驅動主軸 |
硬質不鏽鋼 |
AISI 316L(1.4404,1.4435) |
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密封材料 |
Viton |
FKM (VITON) |
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真空 |
真空範圍 |
1E-9 mbar |
1E-6 mbar 到 1.2 bar |
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氦測漏 |
<2E-9 mbar l/s |
<1E-9 mbar l/s |
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容許壓差 |
1 bar (雙向) |
1.2 bar (雙向) |
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開閥前壓力 |
≥30 mbar |
≤30 mbar |
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烘烤溫度 |
人造橡膠 |
150℃ |
150℃ |
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動作部分 |
60℃ |
60℃ |
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外圍部件 |
使用壓縮氣體 |
80 psig |
2-6 bar (20-90 psi) |
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位置指示器 |
115VAC 或 28VDC, 20mA |
≤50 VAC/DC ,≤0.1 A, >5 mA |
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使用壽命 |
3,000,000+ |
5,000,000 |
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