KRi 離子源

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用於離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 伯東公司是美國考夫曼離子源大中華地區總代理.
KRI 考夫曼離子源
            霍爾離子源                               射頻離子源                        考夫曼離子源                                   自動控制器  

射頻離子源 RFICP 系列

射頻離子源, 提供高能量, 低濃度的離子束, 單次工藝時間更長, 適合多層膜的製備和離子濺鍍鍍膜

型號

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

離子束流

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

柵極直徑

4 cm Φ

10 cm Φ

14 cm Φ

20 cm Φ

30 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

考夫曼離子源 KDC 系列

離子源通過加熱燈絲產生離子束, 低濃度高能量寬束型離子源

型號

KDC 10

KDC 40

KDC 75

KDC 100

KDC 160

離子束流

>10 mA

>100 mA

>250 mA

>400 mA

>650 mA

離子動能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

柵極直徑

1 cm Φ

4 cm Φ

7.5 cm Φ

12 cm Φ

16 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

霍爾離子源 eH 系列

高電流低能量寬束型離子源

型號

eH 400

eH 1000

eH 2000

eH 3000

eH Linear

離子動能

50-300 V

50-300 V

50-300 V

50-250 V

50-300 V

離子束流

5A

10A

10A

20A

根據實際應用

散射角度

>45

>45

>45

>45

>45

射頻離子源 RFICP 380

大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層柵極設計, 柵極口徑 30cm, 滿足 300 mm (12英寸) 晶圓應用

型號

離子束動能

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

RFICP 380

100-1200 V

>1500 mA

30 cm Φ

平行, 聚焦, 散射

射頻離子源 RFICP 220

高能量柵極離子源, 適用於離子濺鍍, 離子沉積和離子蝕刻. 滿足 200 mm (8英寸)晶圓應用

型號

離子束動能

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

RFICP 220

100-1200 V

>800 mA

20 cm Φ

平行,聚焦,散射

射頻離子源 RFICP 140

緊湊的有柵極離子源, 非常適用於離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕

型號

離子束動能

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

RFICP 140

100-1200 V

>600 mA

14 cm Φ

平行,聚焦,散射

射頻離子源 RFICP 100

適用於離子濺鍍和離子蝕刻. 小尺寸設計但是可以輸出 >350 mA 離子流.

型號

離子束動能

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

RFICP 100

100-1200 V

>350 mA

10 cm Φ

平行,聚焦,散射

射頻離子源 RFICP 40

RFICP 系列尺寸最小, 低成本高效離子源. 適用于集成在小型的真空腔體內

型號

離子束動能

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

RFICP 40

100-1200 V

>100 mA

4 cm Φ

平行,聚焦,散射

霍爾離子源 eH 400

低成本設計提供高離子電流, 霍爾離子源 eH 400 尺寸和離子能量特別適合中小型的真空系統

型號

離子束能量

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

eH 400

25-300eV

> 750mA

3.7”

> 45°散射

霍爾離子源 eH 1000

eH 1000 低成本設計提供高離子電流, 特別適合中型真空系統. 通常應用於離子輔助鍍膜, 預清洗和低能量離子蝕刻

型號

離子束動能

最大離子束流

柵極直徑

離子束流形狀

eH 1000

100-300 V

10A

5.7”

> 45°散射

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