幹式真空泵 A 100 L-A 200 L
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幹式真空泵 A 100 L-A 200 L

幹式真空泵 A 100 L-A 200 L
伯東公司銷售維修 Pfeiffer 幹式真空泵(多級羅茨泵)A 100 L-A 200 L,用於潔淨制程的整體式幹泵,緊湊設計,大抽速,低能耗,滿足半導體行業機台內直接安裝和快速抽空的設計要求,是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響,通過使用 Pfeiffer 整體式幹泵,可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L高可靠性和長期穩定性使其脫穎而出,現已廣泛應用於全世界範圍內的 300 mm 半導體工廠。

幹式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障間隔時間超過 195000 小時,提供乾燥無塵的潔淨真空,適合在無塵室中使用,整體式幹泵也為太陽能光電設備提供最佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型幹泵的其他優勢,小巧的體積保證了其在大型機台內集成的便利性,是各大設備廠商首選。

幹式真空泵 A 200 L是針對高氣流量應用的全新解決方案,抽速200 m3/h,再次展示出了其在整體式幹泵市場中全球領導地位。


伯東公司 Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要優點
高氣流量,大抽速
結構緊湊,占地面積小
易於集成,運行成本低
低噪音和低震動,無油無塵
隨插即用系統:集成型監察裝置
幹式真空泵 RS232 / RS485 介面可選

Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 應用行業
Load-lock 和傳送腔
半導體生產
光伏
工業(低溫,氣體製造,鐳射源)
分析儀(用於電子顯微術或表面分析的閘室)

Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術參數

型號

進氣口尺寸 DN

極限壓力 hPa

抽速

噪音比

重量

m3/h

dB (A)

kg

A 100 L

50

6.6 X 10-3

100

58

100

A 100L ES

50

7 X 10-4

100

55

100

A 200 L

50

8 X 10-3

200

58

100

L:標準版本    ES:節能版本

幹式真空泵 A 100 L 標準版本
冷卻水迴圈,在前端配置執行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。
主要在售型號:
A 100 L 標準版本,低電壓,16 針 I/O
A 100 L 標準版本,低電壓,19 針 I/O
A 100 L 標準版本,低電壓,RS232/485 介面,16 針 I/O
A 100 L 標準版本,低電壓,RS232/485 介面,19 針 I/O
A 100 L 標準版本,高電壓,16 針 I/O
A 100 L 標準版本,高電壓,19 針 I/O
A 100 L 標準版本,高電壓,RS232/485 介面,16 針 I/O
A 100 L 標準版本,高電壓,RS232/485 介面,19 針 I/O

A 100 L ES 節能版本
緊湊型幹泵集成節能模組,有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水迴圈,在前端配置執行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。  

主要在售型號:
A 100 L ES 節能版本,低電壓,16 針 I/O
A 100 L ES 節能版本,低電壓,19 針 I/O
A 100 L ES 節能版本,低電壓,RS232/485 介面,16 針 I/O
A 100 L ES 節能版本,低電壓,RS232/485 介面,19 針 I/O

Pfeiffer 幹式真空泵A 100 L-A 200 L:伯東公司真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,100% 原裝進口並提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售後維修服務。

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