e-Mission Filament
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e-Mission Filament


KRI Ion Source e-Mission 電子源

考夫曼 (Kaufman) 有多個類型的低能量高密度的電子源,從簡單的熱電子燈絲模式到空陰極模式,典型應用在等離子和離子工藝中的陰極和陽極中和器,通過專利技術完成電子的發射、測量和束流控制,廣泛應用於對靜電敏感和電介質材料領域。

KRI Ion Source e-Mission 模組化
模組化的設計有助於快速的更換維護,節省成本。耗材能在幾分鐘內進行更換,超低的成本花費,而且容易升級,比如可以將浸入式燈絲的模式升級成非浸入式燈絲的模式。

KRI Ion Source e-Mission 功率控制
e-Mission 功率發生器通過嚴格的校準,保障功率的發生、測量和束流的控制,因為電子束流的可控性可以實現負電荷的穩定性和可靠性。

KRI Ion Source e-Mission 模組
e-Mission 模組的選擇取決於工藝目標、真空系統、運行週期和工藝材料。

KRI Ion Source e-Mission 應用
通常被用於等離子器件的理化工藝、離子束源的中和器以及安裝在磁控管陰極去改善濺射的能量,同時也應用於分析儀器的電子源,具體如下:
離子束中和器
等離子發生的離化
分析儀器中正相偏壓電荷的中和
磁控濺射中電子流的增強

KRI Ion Source e-Mission 燈絲
燈絲電子源是一款成本低廉的陰極和中和器,燈絲被加熱到很高的溫度產生可發射的熱電子。結構簡單容易安裝和使用,可快速更換。特別適合於快速迴圈的工藝和執行時間較短或執行時間適中的設備。


 

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