eH 2000
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eH 2000


KRI 離子源(KRI Ion Source ) eH 2000 系列:
KRI 離子源 eH 2000 是一款更強大的版本,帶有水冷方式,他具備 eH 1000 所有的性能,而且可以產生更高的離子束功率,適合更高的工藝等級和更大的系統。水冷方式有助於降低襯底溫度,可適用於塑膠襯底。

KRI 離子源 eH 2000 系列產品技術參數

 

 

Model

eH 2000 L, eH 2000, eH 2000 x O2, eH 2000 LEHO

Cathode / Neutralizer

Yes

Anode module

Yes

Process gases

Inert, reactive, organic

Power controller

eH Plasma Power Pack

 

 

 

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