枚葉式蒸/濺鍍設備
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枚葉式蒸/濺鍍設備

1. 多腔獨立式,包含 Load/unload & 制程腔外掛多種設計方式.
2. 連續式生產,搭配真空機械手臂,各制程腔獨立運作生產設計,產量大.
3. 可設計純金屬濺鍍、反應式濺鍍、混合式濺鍍、表面清潔,改質、表面蝕刻、蒸鍍制程 等多種制程搭配.
4. 依產品性質,可搭配大氣機械手臂自動 cassette 上/下貨設計,符合SEMI規範.
5. 人性化操作介面,高靶材利用率,高設備稼動率,設備可單腔獨立PM.
6. UBM 設備,經過 NEC, Philips, Himax 三家設備認證通過.

適用領域:
顯示器 (TFT;OLED)、太陽能電池 (Solar cell)、半導體後段封裝 (UBM)、液晶配向膜 (LCOS)、光學制程 (Optical)、 PE-CVD 制程設備
 

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