移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 (ASM 380 升級款)
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移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 (ASM 380 升級款)

Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!
伯東公司德國 Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對大型測漏部件設計研發, 測漏儀配有幹式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 測漏儀 ASM 392 內置2台渦輪分子泵, 可以加速洩漏測測流程, 降低生產設備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的回應時間使其成為同類型測漏儀中的佼佼者!

移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸控式螢幕,無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計,移動性強
5. 完全符合 Semi S2 標準

伯東 Pfeiffer 移動型測漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:

 型號

ASM 390

ASM 392

ASM 380

 檢測氣體

4He, 3He, H2

 最小檢測漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8  mbar l/s

 對氦氣的抽速

10 l/s

25 l/s, 內置2台分子泵

7 l/s

 前級泵抽速

35 m3/h

 進氣口最大壓力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 無校準的啟動時間(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 進氣口

DN 40 ISO-KF

 回應時間

< 1 s

 Interface, 選配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm


移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 應用領域: 可用於半導體和平板顯示器行業以及其他要求極高的應用

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