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Pfeiffer真空計選用規則

    真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低於大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由於歷史上沿用下來的，並不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應。

真空計就是依據各種原理製作成用來測量真空狀態下壓力大小的真空傳感器。根據中華人民共和國國家標準（GB7665—87），傳感器（Transducer/Sensor) 的定義是：能感受規定的被測量並按照一定的規律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。傳感器是一種以一定的精確度把被測量對象轉換為與之有確定對應關係的、便於應用的某種物理量的測量裝置。真空計就是以一定的精度將真空壓力轉化為有確定關係的電壓電流值的測量裝置，是傳感器的一種，在一個系統中的功能和溫度計，磁力計，光感計等等，沒有什麼本質的區別。

     Pfeiffer真空一直是全球真空市場的領導者，產品質量和服務值得信賴，在中國及亞太地區的總代理是伯東公司。 Pfeiffer提供全套的真空測量產品，既有單獨測量，及時供有關人員讀取的，也有可供自動化系統採用的；既有測量低真空的，也有測量高真空的；既有正常環境下使用的，也有特殊環境如高輻射，腐蝕氣體等情況下使用的。

    

 選用真空測量產品時，一般要考慮以下幾個方面：
1），信號的接受。真空計將真空壓力轉換成電信號後，可有兩種形式被系統接受，可以是數字信號，可以是模擬信號。根據系統的需要來選擇。
2），真空測量範圍。不同的真空計，量程是不一樣的，我們需要根據不同工藝的不同真空要求來選擇對應的真空計。真空包裝用的真空計和半導體鍍膜用的真空計肯定是不一樣類型的產品。
3），使用的環境。很重要一點就是有無輻射，還有就是有無腐蝕，污染是否嚴重等等都需要考慮，才能選擇一款適用的真空計。
 4），要求的精度。如果選用的一款真空計測出來的數據，根本不能讓你相信，精度達不到要求​​，那還不如不測。或者誤差超出了工藝的要求，就會給生產過程帶來麻煩，產品質量受影響，也是得不償失的。

 

下面詳細介紹，Pfeiffer為不同的使用情況提供的可供選擇的產品。

一， 根據系統接口類型

1， 客戶系統選用通用的工業總線標準，如RS-232，RS-485，Profibus等等，Pfeiffer可提供DigiLine^TM系列產品供使用。這系列產品採用數字信號接口，屬於通用標準接口，可與系統接口直接連接。具有信號穩定，傳輸距離遠的特點，佈線經濟方便，系統組織靈活多變

Pfeiffer同時提供通訊協議，客戶可在PC或PLC上自己編寫解碼軟件，進行數據處理或數據顯示。也可使用Pfeiffer提供的專用處理軟件DokuStar Plus。

DigiLineTM系列產品如下表：

產品類型	產品名稱	測量最大值	測量最小值
Digital piezo transmitter	CPT 100	2000 mbar	1 mbar
Digital Pirani transmitter	PPT 100	1000 mbar	1E-4 mbar
Digital piezo/Pirani transmitter	RPT 100	1200 mbar	1E-4 mbar
Digital Pirani/cold cathode transmitter	MPT 100	1000 mbar	5E-9 mbar
Digital Pirani/Bayard-Alpert transmitter	HPT 100	1000 mbar	1E-9 mbar

 

2， 客戶系統沒有選用任何標準工業總線，只是用普通的I/O來獲取數據，Pfeiffer可提供ActiveLine系列產品供使用。這系列產品只要客戶系統控制部分有模擬信號通道，客戶就可以讀取到真空壓力數值的大小。 Pfeiffer提供的ActiveLine產品系列輸出的模擬信號為：0-10V的電壓，客戶系統得到這個信號後，根據Pfeiffer提供的計算公式，進行信號計算轉換，可以得到對應的真空度。

 

ActiveLine系列產品如下表：

 

產品類型	產品名稱	測量最大值	測量最小值
Active piezo transmitter	APR 2XX	55000 mbar	1E-1 mbar
Active capacitative transmitter	CMR XXX	1100 mbar	1E-5 mbar
Active Pirani transmitter	TPR 28X	1000 mbar	5E-4 mbar
Active Pirani/capacitative transmitter	PCR 260	1500 mbar	5E-4 mbar
Active cold cathode transmitter	IKR 2XX	2E-2 mbar	5E-11 mbar
Active Pirani/cold cathode transmitter	PKR 2XX	1000 mbar	5E-9 mbar
Active hot cathode transmitter	IMR 265	1000 mbar	2E-6 mbar
Active Pirani/Bayard-Alpert transmitter	PBR 260	1000 mbar	5E-10 mbar

 

上述兩種接口形式真空計的讀數，除了用對應的接口被系統控制器PC或PLC接收外，還可以用Pfeiffer對應的控制器連接，進行離線式的真空數據讀取。 DigiLineTM系列產品對應的Pfeiffer控制器為：DPG 101，DPG 109。其中DPG 101可控制1個DigiLineTM真空計，顯示1個真空計的讀數，DPG 109控制9個DigiLineTM真空計，顯示9個真空計的讀數。 ActiveLine系列產品對應的有3種控制器：TPG 261，TPG 262，TPG 256 A，無論何種ActiveLine真空計都可以接到這3種真空計上，可自動識別，自動轉換，如下圖5，為ActiveLine系列產品的拓撲圖：

二， 根據測量範圍

真空壓力大小的劃分：

◆粗略真空 (Rough vacuum) :1000 ~ 1 (mbar) 

◆中度真空 (Medium vacuum): 1 ~ E-3 (mbar)       

◆高真空 (High vacuum): E-3 ~ E-7 (mbar)       

◆超高真空 (Ultra-high vacuum): < E-7 (mbar)

 

對高低不同的真空進行測量，所用到的真空計類型也各不相同。如下表：

 

真空範圍	真空計選擇
粗略真空	應力薄膜真空計（APR 250，APR 260，APR 265，APR 267等等）、 電容薄膜真空計（CMR 361，CMR 362，CMR 271，CMR 272等等）
中真空	電容薄膜真空計（CMR 363，CMR 364，CMR 273，CMR 274等等）、 皮拉尼（Pirani)真空計（PPT 100，TPR 280，TPR 281等等）
高真空	冷陰極離子真空計（IKR 251，IKR 261 IKR 270等等）、 熱陰極離子真空計（IMR 265，PBR 260等等）

 

 

 

真空計類型	精度	精密度	測量範圍
應力薄膜真空計	1-2%	-	低真空
電容薄膜真空計	0.2-0.5%	-	低中真空
皮拉尼真空計	±15%	±2%	中真空
冷陰極真空計	±30%	±5%	高真空
熱陰極真空計	15%	5%	高真空

 

從上表中​​可以看出：對低中真空的測量精度，要比對中高真空的測量精度高，其中電容薄膜真空計的精度要比應力（Piezo)薄膜真空計的精度高一個數量級。對高真空和超高真空的測量，熱陰極真空計的精度和精密度都要比冷陰極真空計高。

總的來說，Pfeiffer提供了真空測量的全系列產品，包括：通訊接口，測量範圍，是否防腐蝕，苛刻的使用環境，精度要求等等。根據客戶的要求，總能在Pfeiffer的產品中找到合適的。