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氦質譜測漏儀 CVD 鑽石長晶爐測漏

長晶爐是用於人工合成晶體的設備.伯東公司客戶浙江某 CVD 人造鑽石製造商, 累積採購 5套乾式氦質譜測漏儀 ASM 340 D 用於 CVD 鑽石生產設備長晶爐測漏, 其生產的人造鑽石廣泛用於精密切割工具.

長晶爐設備需要測漏: 在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然後通入富碳氣體 ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應系統有漏, 直接影響原子沉積, 導致無法形成鑽石或品質不佳.


長晶爐設備測漏方法: 伯東公司根據客戶生產條件, 推薦每條生產線搭配一台乾式氦質譜測漏儀 ASM 340 D, 測漏儀內置2台前級泵 (低噪音, 清潔無油隔膜泵), 保證無任何油霧氣污染真空腔, 採用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行測漏, 經過洩漏檢測, 生產的人造鑽石可以匹配甚至超過天然鑽石的品質和特性！
1. 乾式測漏儀 ASM 340 開機, 僅需3分鐘進入工作狀態
2. 按照介面提示, 設置漏率值 1x10-8 mbal l/s
3. 開始測漏, 在懷疑有漏的地方用噴槍噴氦氣, 比如焊縫, 管路, 閥門
4. 如果有漏, 測漏儀時時發出聲光報警, 協助客戶定位定量漏點.

測漏配置

乾式氦質譜測漏儀 ASM 340 D 吸槍模式最小漏率: 5x10-9 mbarl/s (目前業界公認最小漏律) 真空模式最小漏率: 5x10-12 mbarl/s 檢測氣體: 4He, 3He, H2 檢測模式: 真空, 吸槍 對氦氣的抽氣速度 2.5 l/s 進氣口最大壓力 25 hPa 前級泵抽速 3.4 m3/h

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家測漏儀的技術優勢, 伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜測漏儀, 從可擕式測漏儀到工作臺式測漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜測漏儀可替代傳統泡沫測漏和壓差測漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜測漏儀滿足單機測漏, 也可集成在測漏系統或 PLC. 

鑒於客戶資訊保密, 若您需要進一步的瞭解 CVD 鑽石長晶爐測漏, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
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