分子泵組應用於低溫真空探針台
Pfeiffer 分子泵組應用於低溫真空探針台
真空探針台一般用於複雜, 高速精密器件進行表面觀測以及各種性能測試的儀器, 通過測試可以保障產品的品質和可靠性並縮減研發時間和器件製造工藝的成本. 探針台主要應用於半導體行業, 光電行業, 積體電路以及封裝的測試
為什麼需要真空環境?
1. 真空探針台通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的使用, 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由於晶圓在超低溫情況下進行探測, 水氣將會出現並且將會凍結晶圓. 水氣會影響測量, 導致測量失敗. 真空腔中的水氣需要通過真空泵排出.
3. 當晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時, 會發生很強烈的氧化. 溫度越高, 越加大矽片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學性, 物理性和機械性. 真空腔中的氧氣需要通過分子泵組來排出.
伯東公司渦輪分子泵組應用於低溫真空探針台客戶案例: 某企業通過上海伯東推薦採購德國 Pfeiffer 經濟型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵完美結合, 整機設計, 隨插即用, 提供清潔, 低振動, 穩定的高真空環境.
伯東公司 Pfeiffer 分子泵組 HiCube 80 Eco 技術規格:
|
泵组型號 |
進氣法蘭 |
分子泵 |
抽速 |
極限真空 |
前级泵型號 |
前级泵 |
|
DN 40 ISO-KF |
HiPace 80 |
35 |
1X10-7 |
MVP 015-2 |
0.5 |
|
|
DN 63 CF-F |
HiPace 80 |
67 |
1X10-8 |
MVP 015-2 |
1 |
|
|
DN 63 ISO-K |
HiPace 80 |
67 |
1X10-7 |
MVP 015-2 |
1 |
Pfeiffer 分子泵組整體模組化設計, 內部集成前級泵和分子泵, "隨插即用", 抽速範圍 35 至 685 L/S, 極限真空 5X10-10 hPa, 提供經濟型分子泵組 ECO, 標準型分子泵組 Classic 和高性能渦輪分子泵組 Pro 滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 真空計共同使用.
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