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分子泵 LOW-E 生產線抽真空

分子泵 LOW-E 生产线抽真空

 

Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低輻射玻璃）生產線中的應用

LOW-E全名Low emissivity，是低輻射鍍膜玻璃。相對熱反射玻璃而言是一種新型節能玻璃。目前國際上普遍採用真空磁控濺射鍍膜技術（離線法）生產Low-E玻璃。伯東公司銷售的德國 Pfeiffer 分子泵成功應用於此。

 

原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕數量級的真空環境中，通入適量的工藝氣體（惰性氣體Ar或反應氣體O2、N2），並保持真空度穩定。將靶材Ag、Si等嵌入陰極，並在與陰極垂直的水準方向置入磁場從而構成磁控靶。以磁控靶為陰極，加上直流或交流電源，在高電壓的作用下，工藝氣體發生電離，形成等離子體。其中，電子在電場和磁場的共同作用下，進行高速螺旋運動，碰撞氣體分子，產生更多的正離子和電子；正離子在電場的作用下，達到一定的能量後撞擊陰極靶材，被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜。為了形成均勻一致的膜層，陰極靶靠近玻璃表面來回移動。為了取得多層膜，必須使用多個陰極，每一個陰極均是在玻璃表面來回移動，形成一定的膜厚。

 

德國 Pfeiffer 憑藉其120多年的真空製造經驗和全球範圍內的售後服務和技術支援贏得LOW-E市場客戶的青睞，德國馮.阿登納(VON ARDENNE)是最典型的客戶。Pfeiffer 分子泵的LOE-E生產線使用在信義玻璃，南玻等中國玻璃製造巨頭。

 

Pfeiffer 分子泵優點:

  1. 多抽速供客戶選擇，抽速為1,000至2,000L/S
  2. 對於H2,He和Ar,CF4有高的抽速
  3. 安裝位置從0到90度，90到180度
  4. 高的氣體流通量，即使是Ar,CF4
  5. 集成的TC 1200驅動單元可直接連接電源
  6. 抗腐蝕能力供選擇
  7. 豐富的介面：RS-485以及遠端控制；Profibus或者DeviceNet可供選擇
  8. 擁有IP 54和Semi S2 等級
  9. 穩定安全的轉子軸承系統
  10. 符合UL,CSA以及TUV認證
  11. 簡單的安裝

 

若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：

上海伯東: 葉小姐                                    臺灣伯東: 王小姐      

T: +86-21-5046-3511 ext 107                  T: +886-3-567-9508 ext 161      

F: +86-21-5046-1490                              F: +886-3-567-0049

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