渦輪分子泵應用於電子束蒸發鍍膜
Pfeiffer 渦輪分子泵應用於電子束蒸發鍍膜
電子束蒸鍍是 PVD 薄膜沉積技術的一種. 與傳統熱阻蒸鍍方式不同, 電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精准地實現利用高能電子轟擊坩堝內靶材, 使之融化進而沉積在基片上. 電子束蒸鍍可以鍍出高純度高精度的薄膜. 電子束是一種高速的電子流. 電子束蒸發是目前真空鍍膜技術中一種成熟且主要的鍍膜方法, 它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題. 電子束蒸發廣泛應用於家電電器, 鐘錶, 燈具, 工藝美術品, 玩具, 車燈反光罩, 手機按鍵外殼以及儀器儀錶, 塑膠, 玻璃, 陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層.
電子束蒸鍍是利用加速電子轟擊鍍膜材料, 電子的動能轉換成熱能使鍍膜材料加熱蒸發並成膜. 電子束加熱蒸鍍的特點是能獲得極高的能量密度, 最高可達 109w/cm2, 加熱溫度可達 3000～6000℃, 可以蒸發難熔金屬或化合物; 被蒸發材料置於水冷的坩堝中, 可避免坩堝材料的污染, 製備高純薄膜; 另外, 由於蒸發物加熱面積小, 因而熱輻射損失減少, 熱效率高
電子束蒸發鍍膜需要高真空環境！
電子束蒸發法是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料, 使蒸發材料氣化並向基板輸運, 在基底上凝結形成薄膜的方法. 常見於半導體科研工業領域. 利用加速後的電子能量打擊材料標靶, 使材料標靶蒸發升騰. 最終沉積到目標上.
在蒸發鍍膜設備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內雜質氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過程中, 與環境中的雜質氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更緻密均勻的膜, 由於分子泵的無油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴散泵成為最普遍的真空系統, 上海伯東德國普發 Pfeiffer 分子泵成功應用於此.
伯東公司電子束蒸發鍍膜客戶案例一: 某大學微電子學系, 電子束蒸發鍍膜系統組態德國 Pfeiffer 分子泵 HiPace 2300, 用於生長半導體材料, 金屬膜, Mn 氧化物膜. 系統主要參數如下
1. 真空度要求: 5x10-7 mbar
2. 基片尺寸: ≤Ф12英寸
3. 電子槍功率: 5-10KW
4. 襯底溫度：350℃
5. 溫度均勻性：±10℃
6. 樣平臺轉速：≤20r/min
7. 坩堝數量：4
8. 鍍膜均勻性：±5%（Al）
9. 控制系統：PC+PLC全自動控制
電子束蒸發真空系統配置
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渦輪分子泵 HiPace 2300 |
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全量程真空計 PKR 251 |
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Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵執行時間可以達到 100,000 小時! Pfeiffer分子泵提供複合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和幹泵共同使用. 更多分子泵典型應用 >>
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