氦質譜測漏儀六種常見測漏方法

2023-09-13

測漏與現代工業生產, 維修, 科研等領域密不可分, 傳統的測漏有泡泡測漏 Bubble Test, 壓差測漏等, 但這些方法有許多局限性和不足, 如精度差, 效率低等, 氦質譜測漏 Helium Leak Test 作為國際公認精度最高的洩露測試方法, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點, 在提供無損測漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 廣泛應用於真空相關領域.

根據示蹤氣體流向, 氦質譜測漏法可分為真空法 (氣體流出工件), 吸槍法 (氣體流入工件) 兩大類,伯東公司依據大量客戶實際應用總結出常見六種氦檢方法:

1. 真空測漏法 / 噴槍（Vacuum Test: Spraying Test）
1）可定位漏點
2）精度很高
3）氦氣消耗少

氦质谱检漏仪六种常见氦检方法

真空測漏法是業內最長使用的一種測漏方法, 廣泛應用於精密儀器, 真空釺焊, 壓力容器等行業

	氦質譜測漏儀 ASM 340 應用於 5G 基站銅連接器測漏, 真空模式下, 漏率要求 5x10-11pa m3/s		氦質譜測漏儀 ASM 390 應用於航太領域的雷射器零件測漏, 中空夾層設計,, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
	氦質譜測漏儀 ASM 310 半導體用光刻機測漏, 整機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空.		氦質譜測漏儀 ASM 310 內部集成紅外探測器的 2m3 杜瓦封裝器件, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.

2. 吸槍法（Sniffing Test）
1）可定位漏點
2）無需抽真空
電廠測漏一般使用吸槍法

氦质谱检漏仪

燃料电池车载供氢系统检漏

氦質譜測漏儀 ASM 340
應用于氫燃料電池車的車載供氫系統測漏, 氫氣儲存于高壓氣瓶中, 單個氣瓶洩漏出的氫氣濃度必須小於 6 ppm

电厂检漏

氦質譜測漏儀 ASM 340
對電廠管道, 汽輪機, 冷凝器等進行測漏, 吸槍模式下, 漏率值要求 10-6 mbar

3. 真空累積測漏（Integral Vacuum Test）
1）精度極高
2）測整體洩露量
3）易於線上檢測
4）重複性高

氦质谱检漏仪

消防器材钢瓶检漏

氦質譜測漏儀 ASM 340
採用真空模式測漏, 消防器材鋼瓶內部沖有一定壓力的氮氦混合氣體, 氦氣約占 5%的量

4. 背壓法（Vacuum Test: Bombing Test）
1）密封器件的指定檢測方法
2）高重複性

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪电子元件检漏

氦質譜測漏儀 ASM 340
應用于光通訊設備的封裝鐳射晶片測漏, 鐳射晶片在 Box 內進行封裝, 封裝完成後的鐳射晶片漏率要求小於 5×10-8mbar l/s

5. 真空累積法（Integral test of enclosed parts under vacuum）
   1）易於自動化檢測
   2）精度極高
   3）高重複性

氦质谱检漏仪

锂电池检漏

氦質譜測漏儀 ASM 340
新能源電動汽車鋰電池外殼測漏. 漏率要求 3.5 x10-4 pa.m3/s, 氦質譜測漏儀集成在生產線中完成測漏

6. 常壓吸槍累積法（Sniffing test: Integral test at atmospheric pressure）
1）易於線上檢測
2）無需抽真空

氦质谱检漏仪

常壓吸槍累積法廣泛應用於航空航太領域

伯東公司作為德國 Pfeiffer 授權代理商, 提供全系列氦質譜測漏儀產品的銷售, 維修保養和技術支援, 為每個客戶提供客制化的無損洩露檢測方案
氦质谱检漏仪

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