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氦質譜測漏儀紅外探測器杜瓦封裝測漏
隨著空間遙感技術的不斷發展, 對空間探測器的性能和光譜提出越來越高的要求. 紅外探測器是紅外探測系統的核心元件, 在航太和天文領域有廣泛的應用, 隨著波長向長波擴展和探測靈敏度的提高, 紅外探測器必須在超低溫下工作. 因此需要將紅外探測器封裝在杜瓦瓶中, 組裝成杜瓦封裝器件, 目前紅外探測器在空間應用中多採用機械製冷方式, 將外部製冷機與杜瓦封裝器件連接. 從而實現低溫工作. 真空度的保持是杜瓦封裝器件的重要指標. 真空度差或者真空度保持時間短將直接影響紅外探測器元件的性能. 因此需要進行洩漏檢測, 伯東公司德國 Pfeiffer 氦質譜測漏儀提供無損的測漏方法, 成功應用於紅外探測器杜瓦封裝器件測漏！

伯東公司杜瓦瓶測漏客戶案例: 某天文所研發紅外探測器, 紅外探測器應用於火星探測專案, 紅外探測器安裝封裝于杜瓦瓶中, 形成杜瓦封裝器件, 真空模式下漏率值要達到 1.10-8Pa.m3/s. 伯東根據客戶杜瓦瓶腔體大小和腔體材質, 結合要求的真空值和漏率值, 提出使用可擕式測漏儀 ASM 310 + 分子泵組 Hicube 700 解決方案.

杜瓦瓶測漏方法: 採用真空模式測漏, 分子泵組 Hicube 700 作為輔助泵先對杜瓦元件進行抽真空, 當真空度達到待檢值時, 在杜瓦瓶周圍懷疑有漏的位置吹掃一定量的氦氣, 啟動可擕式測漏儀 ASM 310 開始測漏, 漏率值設定為 1.10^-8Pa.m³/s, 若有檢測到實際漏率大於設定值, 則會報警提醒, 從而可以定位定量判斷杜瓦封裝器件洩漏位置, 判斷是否符合使用要求.

	可擕式測漏儀 ASM 310 清潔無油, 極輕的重量 21kg 和全球通用電壓使它成為理想的測漏工具 可擕式氦質譜測漏儀 ASM 310 是目前市場上同類型測漏儀最輕便緊湊的產品 對氦氣的最小檢測漏率 真空模式 5E-13 Pa m3/s 吸槍模式 1E-8 Pa m3/s 對氦氣的抽氣速度 1.1 l/s
	渦輪分子泵組 Hicube 700 Classic 極限真空 < 1X10-7 mbar 前級泵配置隔膜泵 MVP-070, 抽速 3.8 m³/h

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家測漏儀的技術優勢, 伯東公司德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜測漏儀, 從可擕式測漏儀到工作臺式測漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜測漏儀替代傳統泡沫測漏和壓差測漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜測漏儀滿足單機測漏, 也可集成在測漏系統或 PLC. 

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