應用於半導體行業減壓器測漏方案
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應用於半導體行業減壓器測漏方案

應用於半導體行業減壓器測漏方案
減壓器, 又稱減壓閥門, 是將高壓氣體降為低壓氣體, 並保持輸出氣體的壓力和流量穩定不變的調節裝置. 主要應用於半導體管路或實驗室壓力控制. 減壓器本身如果出現洩漏, 會直接導致高壓氣體洩漏, 一旦氣體屬於有毒有害氣體, 將導致嚴重的生產事故! 因此減壓器在出廠前必須經過嚴格的洩漏檢測, 氦質譜測漏法與傳統泡沫法對比, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點, 在真空模式下, 可以顯示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 伯東公司氦質譜測漏儀現已廣泛應用於減壓閥測漏.
 
伯東公司減壓器測漏客戶案例: 某公司生產減壓器, 主要用於半導體管路中氣體減壓, 調節氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小於 1X10-8 mbar l/S, 經過伯東推薦, 最終選擇前級泵為幹泵的移動型氦質譜測漏儀 ASM 390.
減壓器測漏

減壓器測漏方法: 選用氦質譜測漏儀真空模式進行測漏, 減壓器直接與測漏儀進氣口相連, 用噴槍在懷疑有漏的地方進行吹掃, 鑒於客戶資訊保密, 更詳細的減壓器測漏應用方案, 歡迎联络伯東公司
氦質譜測漏儀 ASM 390

伯東公司德國 Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM 390

氦質譜測漏儀

測漏儀配有幹式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導體行業要求!
檢測氣體: 4He, 3He, H2
最小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速: 10 l/s
前級泵抽速: 35 m3/h

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家測漏儀的技術優勢,  Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜測漏儀, 從可擕式測漏儀到工作臺式測漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜測漏儀替代傳統泡沫測漏和壓差測漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜測漏儀滿足單機測漏, 也可集成在系統或 PLC. 推薦氦質譜測漏儀應用 >>

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