市場訊息
KRI 聚焦型射頻離子源用於製備類金剛石薄膜
國內某製造商在鈦合金表面製備一層類金剛石薄膜 DLC, 以期改善鈦合金表面摩擦學性能, 為了獲得均勻且緻密的類金剛石薄膜, 採用伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 製備類金剛石薄膜.
.png)
伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術參數:
|
射頻離子源型號 |
RFICP 380 |
|
Discharge 陽極 |
射頻 RFICP |
|
離子束流 |
>1500 mA |
|
離子動能 |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
30 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦 |
|
流量 |
15-50 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
|
長度 |
39 cm |
|
直徑 |
59 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
推薦理由:
使用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380可以準確、靈活地對樣品選定的區域進行沉積和刻蝕.
運行結果:
1. 沉積的類金剛石薄膜厚度約為 1.0 μm, 薄膜均勻且緻密, 表面粗糙度Ra為13.23nm
2. 類金剛石薄膜與基體結合力的臨界載荷達到31.0N
3. DLC薄膜具有良好的減摩性, 摩擦係數為0.15, 耐磨性能得到提高
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 測漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫衝擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
.png)
若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權所有, 翻拷必究！