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電子元器件又稱電子元件是各類機械設備, 儀器儀錶的重要組成部分. 常見的電子元器件類型包含:電阻、電容器、機電元件、連接器、半導體器件、光電器件、感測器、積體電路等等. 伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀現已大量應用於電子元器件生產企業, 本文主要介紹電子元器件領域光子型探測器和光探測器的測漏方法.

電子元器件需要測漏原因:
光子型探測器(photon detector), 是利用外光電效應或內光電效應製成的輻射探測器, 也稱光電型探測器. 探測器中的電子直接吸收光子的能量, 使運動狀態發生變化而產生電信號, 常用於探測紅外輻射和可見光. 光子型探測器屬於真空電子器件, 對密封性的要求極高, 如果存在洩漏會影響其使用性能, 因此需要測漏.
光通信器件又稱光器件, 分為光有源器件和光無源器件. 光有源器件是光通信系統中將電信號轉換成光信號或將光信號轉換成電信號的關鍵器件, 是光傳輸系統的心臟;光無源器件是光通信系統中需要消耗一定的能量、具有一定功能而沒有光-電或電-光轉換功能的器件, 是光傳輸系統的關節. 行業規定光通訊器件漏率合格線 <5.0x10-8 atm.cc/s, 因此需要氦質譜測漏儀測漏

電子元器件測漏方法:
光子型探測器和光探測器的測漏方法可歸納入電子元件類檢測方法, 即“背壓法”. 由於電子元件體積小, 且無法抽真空或直接充入氦氣, 而氦測漏又離不開氦氣作為示蹤氣體. 這時需要通過一種間接的辦法“滲入”氦氣, 具體做法如下.
1.將被檢電子元件放入真空保壓罐, 壓力和時間根據漏率大小設定
2.取出電子元件, 使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣
3.將電子元件放入真空測試罐, 測試罐連接氦質譜測漏儀
4.啟動氦質譜測漏儀, 開始檢測
電子元器件測漏客戶案例
1.江蘇某大型光子型探測器生產廠商, 通過伯東採購氦質譜測漏儀 ASM 340

2.東莞某光磁股份企業, 光通訊器件測漏, 通過伯東採購氦質譜測漏儀 ASM 340

氦質譜測漏儀 ASM 340 優點
1. 前級泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質譜測漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率:
   真空模式: 5E-13 Pa m3/s
   吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏律
4. 移動式操作面板(有線, 無線)
5. 集成 SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標準漏孔等
8. 檢測時間短

伯東企業是德國普發授權代理商. 伯東真空主營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 幹式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用於各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管); 氦質譜測漏儀;質譜分析儀;真空鍍膜機,真空系統以及HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機. 美國KRI 離子源. 離子刻蝕機等

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