市場訊息
脈衝鐳射沉積系統 PLD
脈衝鐳射沉積系統 Pulsed laser deposition 是製備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質結構和超晶格結構的物理氣相沉積設備, 通常需要保證本底真空度達到 10-8mbar, 同時高真空環境對系統組態的 RHEED 及溫控系統等關鍵設備的壽命也至關重要.
脈衝鐳射沉積系統 PLD 需要測漏原因
PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有洩露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行洩漏檢測. 氦質譜測漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 因此廣泛應用於 PLD 設備測漏.
伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀用於脈衝鐳射沉積系統 PLD 測漏客戶案例: 伯東某客戶 PLD 設備用來製備各種材料, 為了保證產品品質, 採購氦質譜測漏儀 ASM 340 搭配使用.
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生長多層膜（TiN/ALN）結構, 各層膜厚度可調 |
高通量製備具有不同材料成分的100種材料 |
PLD 製備的 Ag 的納米多孔材料 |
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脈衝鐳射沉積系統 PLD 測漏方法
採用真空模式測漏, 通過波紋管連接需要測漏的腔體, 設定好需要的漏率值. 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要測漏的部位是焊縫或連接處）,如果有漏,測漏儀會出現聲光報警同時在螢幕上顯示當前漏率值.
伯東推薦 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM 340 三種類型可選
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型號 |
ASM 340 WET |
ASM 340 D |
ASM 340 I |
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對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
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對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
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進氣口最大壓力 hPa |
25 |
25 |
5 |
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前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前級泵 |
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重量 kg |
56 |
45 |
32 |
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家測漏儀的技術優勢, 伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜測漏儀, 從可擕式測漏儀到工作臺式測漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜測漏儀替代傳統泡沫測漏和壓差測漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜測漏儀滿足單機測漏, 也可集成在測漏系統或 PLC.
氦質譜檢漏儀 ASM 340 優點
1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率：
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏率
4. 移動式操作面板（有線, 無線）
5. 集成 SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標準漏孔等
8. 檢測時間短
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