eH 1020 F
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eH 1020 F


KRI Ion Source 無柵式燈絲型離子源 EH 1020 F

離子源發明人 Kaufman 博士的最新發明 Kaufman 博士是知名的離子源發明人, Kaufman 博士以其在離子源領域 25 年的專業經驗,最新發明―大面積的離子源 EH 1020 F。可應用於離子助鍍(IAD),前處理清潔及蝕刻等。

KRI 離子源 EH 1020 F 產品優點:
・EH 1020 F 使用更大功率之阳极电源控制器,可提供更高的离子束电流,以增加更大的使用范围。相較其它同型離子源,增加20%的離子束電流,及40%的陰極電壓。
・模组化的設計,隨插即用。容易維護,體積縮小30%。
・低温制程。
・更寬的离子束使用范围,适用于大型镀膜机。
・整合型的电源控制器。

KRI 離子源 EH 1020F 耐久磁性離子源 (燈絲型)的特點
・無柵極設計, 針對低能量制程
・單一燈絲, 針對離子化和中和性設計
・陽極模組化設計
・不銹鋼, 相對陽極
・不銹鋼與石墨材質氣體反射器
・MFC氣體質流量控制器
・直徑英制一吋bolt-type feedthroughs兩組1. 3-conductor electrical feedthrough
・18吋長 in-vacuum electrical cable 2. 1/4 吋 OD gas tubing feedthrough
・18吋長 in-vacuum flex gas line
・EH 1000F 電源供應器/控制器與讀取裝置
・Front panel 監控系統
・Soft-start 陰極
・900 Watt, 燈絲電源與發射控制器
・陽極8A, 300V , 可調整範圍 50-300V
・限定電流式電路保護裝置
・離子束自動中和裝置
・規格: 200/240V, 20A, 單向, 50/60Hz
・20呎長, 外部電源供應器連接線
・備用燈絲(10支)
・離子源安裝托架

[選購]
・陽極式水冷組

・KRI 離子源 EH1020 F 離子能量分佈


 KRI Ion Source

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