殘餘氣體分析儀 PrismaPlus
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殘餘氣體分析儀 PrismaPlus

殘餘氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級杆質譜分析儀
伯東公司代理德國 Pfeiffer 殘餘氣體質譜 QMG系列,模組化設計,質量數範圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟體。殘餘氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲,適用於多種測量用途,使用壽命長。
Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優勢:
1. 模組化設計提供了產品最好的適應性
2. 結構緊湊,性能出眾
3. 多種介面,系統集成簡單
4. 可通過乙太網網路化
5. 測試過程快速穩定,解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設計保證最大的可靠性
8. 最低的可檢測分壓達1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體,操作直觀
殘餘氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數:

型號

QMG 220 F1

QMG 220 F2

QMG 220 F3

QMG 220 M1

QMG 220 M2

QMG 220 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極杆直徑/長度

6/100 mm

最小檢測極限 F mbar

1X10-12

2X10-12

4X10-12

5X10-12

1X10-11

2X10-11

最小檢測極限 M mbar

-

-

-

1X10-14

< 2X10-14

< 4X10-14

對Ar的靈敏度 F A/mbar

1X10-3

6X10-4

3X10-4

5X10-4

3X10-4

1.5X10-4

對Ar的靈敏度 M A/mbar

-

-

-

200

200

100

最大工作壓力 F

1X10-4 mbar

最大工作壓力 M mbar

-

-

-

1X10-5

1X10-5

1X10-5

對臨近質量數的影響

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 F

150 °C

烘烤溫度 F

200 °C / 300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

重量

2.4 kg

2.4 kg

2.4 kg

3.8 kg

3.8 kg

3.8 kg

殘餘氣體分析質譜儀應用四極質譜儀 QMG非常適合於檢漏,殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝

伯東公司殘餘氣體分析質譜儀 QMG 客戶案例:

Pfeiffer 殘餘氣體分析質譜儀

Pfeiffer 殘餘氣體分析質譜儀

Pfeiffer 殘餘氣體分析質譜儀

1.設計緊湊
PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀積累了豐富的應用經驗,高靈敏度,高穩定性和智慧化操作的完美結合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優點。在適用中客戶將感受到它堅固,緊湊的設計和簡單的系統集成,並從中受益。
2.應用範圍廣闊
通過可選擇質量數範圍,檢測器、離子源和介面介面等,該四極質譜儀可以應用於多個領域,例如:工業和分析領域、研發、檢漏、半導體生產以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從品質保證,殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的最佳方案。
3.檢測速度快,靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質譜儀可 以在三個不同的質量數範圍(1-100,1-200,1-300 amu)內,下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結果。在真空系統中,配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀,即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外,直接增加一個壓力量規,PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作為一個精確的全壓監控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡單,它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數記錄的易讀平臺。結合多種可供選擇的介面介面,例如乙太網,數位式和類比式輸入輸出,可以方便地集成到各種系統中去。輕點滑鼠就可以啟動預設的功能。

PrismaPlusTM 四極質譜儀尺寸及配件:

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPlus:伯東公司真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,100% 原裝進口並提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售後維修服務。

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