氦質譜測漏儀電子元器件測漏
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氦質譜測漏儀電子元器件測漏

氦質譜側漏儀應用三:電子元器件側漏
伯東公司 Pfeiffer 氦質譜測漏儀電子元器件測漏應用
電子元器件又稱電子元件是各類機械設備,儀器儀錶的重要組成部分。常見的電子元器件類型包含:電阻、電容器、機電元件、連接器、半導體器件、光電器件、感測器、積體電路等等。伯東公司 Pfeiffer 氦質譜測漏儀現已大量應用於電子元器件生產企業,本文主要介紹電子元器件領域光子型探測器和光探測器的測漏方法。
電子元器件需要測漏原因:
光子型探測器(photon detector),是利用外光電效應或內光電效應製成的輻射探測器,也稱光電型探測器。探測器中的電子直接吸收光子的能量,使運動狀態發生變化而產生電信號,常用於探測紅外輻射和可見光。光子型探測器屬於真空電子器件,對密封性的要求極高,如果存在洩漏會影響其使用性能,因此需要測漏。
光通信器件又稱光器件,分為光有源器件和光無源器件。光有源器件是光通信系統中將電信號轉換成光信號或將光信號轉換成電信號的關鍵器件,是光傳輸系統的心臟;光無源器件是光通信系統中需要消耗一定的能量、具有一定功能而沒有光-電或電-光轉換功能的器件,是光傳輸系統的關節。行業規定光通訊器件漏率合格線 <5.0x10-8 atm.cc/s,因此需要氦質譜測漏儀測漏
電子元器件測漏方法:
光子型探測器和光探測器的測漏方法可歸納入電子元件類檢測方法,即“背壓法”。由於電子元件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,而氦測漏又離不開氦氣作為示蹤氣體。這時需要通過一種間接的辦法“滲入”氦氣,具體做法如下。
1.將被檢電子元件放入真空保壓罐,壓力和時間根據漏率大小設定
2.取出電子元件,使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣
3.將電子元件放入真空測試罐,測試罐連接氦質譜測漏儀
4.啟動氦質譜測漏儀,開始檢測
電子元器件測漏客戶案例:
1.某大型光子型探測器生產廠商,通過伯東採購氦質譜測漏儀 ASM 340
Pfeiffer 氦質譜測漏儀電子元器件測漏應用
2.某光磁股份企業,光通訊器件測漏,通過伯東採購氦質譜測漏儀 ASM 340
氦質譜側漏儀電子元器件側漏應用

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